livedoor2006年11月10日
パルスジェット流水式高周波超音波洗浄機
半導体、液晶洗浄工程用 流水式高周波超音波洗浄機 ライン580mm
流水にメガヘルツの高周波を加えることで、加速された水の粒子がサブミクロンの微粒子を洗浄除去します。
ＣＭＰ研磨後洗浄、ハードディスク・シリコンウエハー・ガリウムヒ素鏡面研磨後洗浄、蒸着前洗浄に最適です。
常に、清浄な洗浄液を供給するため、液中での汚れの再付着の心配がありません。
枚葉処理が可能なため、生産ラインへの組込みが用容易です。
高周波発振のため、微細な汚れを瞬時に除去。ウエハーへのダメージもありませ。
出力調整により、磁気ヘッドのような割れやすいものでも安心して洗浄を行えます。
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setuyaku_joho at 16:59
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